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昔は工場で使われる設備には、主に油圧や空気圧が用いられていました。その当時は高い精度も要求されなかったために、それでも十分役に立つ状況だったのです。しかし、段々と精度の高い制御や長時間安定して動作させる能力が必要となって、油圧や空気圧では物足りないようになりました。他の分野ではモーターも使われていましたが、まだ工場での使用に耐えうるものではなかったのです。
1950年前後になると、工場で使用できるレベルのサーボモーターが登場し、少しずつ工場で使われるようにます。そうして、サーボモーターが普及するにつれて、より性能が高くて使いやすいサーボモーターが多数販売されると、次第に油圧や空気圧に取って代わるものとなっていきました。
1980年以降になると、サーボモーターに関する技術革新がさらに進み、サーボモーターなくしては生産できない製品も出てくるようになります。特に小型/軽量化が必須の条件となる設備などにとっては、サーボモーターが必要不可欠となっています。
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